Экологически чистые модульные фильтры, которые эффективно контролируют AMC и уменьшают углеродное воздействие на полупроводниковых заводахПо мере продвижения к интеллекту многие полупроводниковые заводы начинают обнаруживать, что в окружающей среде присутствуют микрозагрязнители, невидимые невооруженным глазом, которые суспендированы в воздухе и наносят огромный вред продуктам, но традиционные методы фильтрации, такие как высокоэффективные фильтры воздуха частиц или сверхчастицы, трудно эффективно удалить. Поэтому необходимо создать интеллектуальные механизмы управления на заводе, чтобы решить проблему AMC (молекулярное загрязнение воздуха).
По словам технических экспертов Pratt & Whitney, с развитием передовых полупроводниковых процессов пыль, взвешенная в воздухе, может эффективно контролироваться