Экологически чистые модульные фильтры, которые эффективно контролируют AMC и уменьшают углеродное воздействие на полупроводниковых заводах
По мере продвижения к интеллекту многие полупроводниковые заводы начинают обнаруживать, что в окружающей среде присутствуют микрозагрязнители, невидимые невооруженным глазом, которые суспендированы в воздухе и наносят огромный вред продуктам, но традиционные методы фильтрации, такие как высокоэффективные фильтры воздуха частиц или сверхчастицы, трудно эффективно удалить. Поэтому необходимо создать интеллектуальные механизмы управления на заводе, чтобы решить проблему AMC (молекулярное загрязнение воздуха).
По словам технических экспертов Pratt & Whitney, с развитием передовых полупроводниковых процессов пыль, взвешенная в воздухе, может эффективно контролироваться традиционными методами фильтрации. Однако другие органические или неорганические микрозагрязнители оказывают гораздо большее влияние на производительность процессов, чем пыль. Другими словами, высокопроизводительная технология контроля микрозагрязнения AMC является одним из ключевых элементов разработки 5 - нанометрового передового процесса крупными производителями полупроводников.
AMC в основном состоит из кислотных веществ MA, соленых веществ MB, конденсаторов MC и легированных MD веществ, а также H ₂ Ох. ₂、 Ох. ₃ А также другие вещества, не поддающиеся классификации. Эти газообразные молекулярные загрязнители, с точки зрения размера, требуют от 5 до 25 молекулярных отложений, чтобы заполнить ширину линии 5 нанометров и повредить чипы, что является самой большой проблемой, с которой сталкивается полупроводниковая промышленность в настоящее время.
Чтобы решить эту проблему, индустрия химических фильтров добавила многофункциональный химический фильтр к традиционным пылеуловителям, традиционным модулям химических фильтров « три в одном». Однако это привело к серьезной проблеме: для обеспечения высокого уровня производительности они использовали большое количество клея PU, чтобы запечатать фильтр в металлической раме. С одной стороны, PU - клей сам по себе является источником загрязнения, с другой стороны, поскольку металл и фильтрующий материал склеиваются и поэтому не могут быть заменены, он в конечном итоге становится только композитными отходами.
Экологически чистый комбинированный экран, разработанный Ruizhi, имеет совершенно другой внешний вид. Мы хотели бы обобщить многие из его преимуществ. Во - первых, он вообще не использует PU - каучук, поэтому экономит пользователям от 3% до 5% затрат. Во - вторых, рамка предназначена для уникального типа извлечения или укладки, где пользователю просто нужно заменить однослойный фильтрующий материал без демонтажа всего набора фильтров, чтобы сделать его относительно легким и безопасным. В - третьих, модульная рама может быть повторно использована и легко заменена по сравнению с традиционными химическими фильтрами « три в одном». В - четвертых, многократное использование фильтрующих сред и рамок снижает закупочные расходы более чем на 40% и объем отходов более чем на 60%, что, в свою очередь, снижает затраты на накопление отходов и последующее удаление. В - пятых, экологически чистые фильтры позволяют использовать фильтрующую среду только в качестве запасных частей и позволяют повторно использовать раму до тех пор, пока она не будет изношена.
Принимая 3R (сокращение, повторное использование и переработка) в качестве основной концепции, Ruizhi стремится достичь цели нулевых отходов. Мир сталкивается с серьезными экологическими проблемами, такими как изменение климата, глобальное потепление и частые экстремальные климатические явления, поэтому человечество не должно довольствоваться « экономикой повторного использования» (которая все еще производит отходы), а нуждается в дальнейшей реализации « экономики кругового производства» с целью 100 - процентного использования сырья и ресурсов и больше не производить никаких отходов, Это новое мышление, которое фильтрующие компании хотят привнести в отрасль.
В дополнение к разработке модульных фильтров, Ruizhi также активно продвигает еще один продукт « AMC Integrated Chemical filter», кислоты, щелочи, TVOC адсорбционного разложения материала в углеродную ткань, в качестве интегрированного химического фильтра AMC, может одновременно эффективно удалять кислоты, щелочи, TVOC, озон и другие загрязнители газов AMC. Кроме того, продукт также более рентабельный, более экологически чистый и более энергосберегающий для окружающей среды.
